滑动密封—低温快速换样方案
部件组成
⼀套完整的“低温快速换样”解决方案包括以下部分：
样品杆改造 & SlideSeal组件
PN.
套筒·换⽓腔 + 闸板阀
PN.
⽓路系统
PN.
➡ 样品杆需要增加薄壁不锈钢套筒；
➡ 增加滑动密封组件，保证样品杆垂直运动时不破坏真空；
➡ 由套筒和闸板阀组成；
➡ 板阀用于隔绝真空腔体和大气；
➡ 套筒用于充当快速插拔样品杆时洗气腔体；
➡ 通过真空阀门控制抽气&充气过程；
工作原理 & 操作流程
样品杆和滑动密封组件交付前已经组装完成
1.样品杆安装
➡ 关闭闸板阀；
➡ 安装样品杆，将滑动部件和套筒安装在⼀起；
2.洗气操作
➡ 关闭所有阀门（A,B,C,D）；
➡ 打开真空泵，依次打开阀门-D，阀门-B，阀门-A。抽气至小于额定值；
➡ 关闭阀门-D，打开阀门-C充入氦气至约0.5atm；
➡ 关闭阀门-C，打开阀门-D，抽气至小于额定值；
➡ 重复步骤3~4，洗气完成；
3.放入低温腔体
➡ 依次关闭阀门-D，阀门-B，阀门-A，关闭真空泵；
➡ 打开Gate Valve，将样品杆装入低温腔体；