多场科技 — 压电运动·室温 / Carrier.OB.系列

物镜型·扫描台 (闭环)
Carrier.OB 系列
均衡的选择, Standard 系列

支持电容(.C)位置传感；最高分辨率达到0.2 nm；
支持超高真空(.UHV)选件升级

Z 方向运动

Z 方向运动

Carrier.OB50.C

50 um Z 方向行程，
高速响应

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外形尺寸· 63.5 mm × 46 mm × 26 mm

行程· 50 um

Carrier.OB100.C

100 um Z 方向行程，
15 ms 以内稳定

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外形尺寸· 63.5 mm × 46 mm × 26 mm

行程· 100 um

Z 方向运动

Carrier.OBHL100.C

2 kg 超强负载，10 ms 以内稳定

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外形尺⼨· 68 mm × 68 mm × 19 mm

行程· 100 um