压电·大范围扫描运动 Carrier.OBHL100

针对显微物镜的大负载、高动态、长行程解决方案,用于显微成像、自动对焦等应用

• Z 方向运动范围 100 um;

• 最快稳定时间 (90%位置稳定) 10 ms以内;

• 闭环定位精度优于 1 nm;

• 最大负载 500 g;

• 控制器兼容多场科技MC-Archimedes Series;

• ⽀持无磁 (.NM) 、高真空 (.UHV) 和超高真空(.UHV)选件升级

可选版本 ⇨

Carrier.OBHL100.C

基本信息

Motion Direction 运动方向

Z 轴

Main Material 主体材料

不锈钢304,铝合金

Travel Range 运动行程

100 um

Upgrade Options 升级选项

扩展可选:NM, 绝对无磁版本; .HV, 高真空版本; UHV,超高真空版本;

线性度

0.02%

内置传感器

电容式传感

传感器噪音

1 nm

Z方向分辨率,开环

0.2 nm

稳定时间 (90%位置到达)

10 ms

Resonance Frequency(无负载)

900 Hz

Resonance Frequency(150 g 负载)

500 Hz

Weight 重量

500 g

Drawings 尺寸图