Mirrors系列

大行程镜片运动控制，毫秒级运动响应

Mirrors.Z12 Z轴扫描

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• Z方向12 um闭环行程

• 毫秒级运动响应

• 闭环分辨率优于 0.2 nm

• 支持无磁 (.NM)；高真空(.HV)和超高真空(.UHV)选件升级

Mirrors.TxTy 两维偏转

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• 两自由度偏摆运动

• 毫秒级运动响应

• 最高精度μrad级别

• 支持无磁 (.NM)；高真空(.HV)和超高真空(.UHV)选件升级

Mirrors.Z12TxTy0101 三自由度调节

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• 并联三自由度调节

• 毫秒级运动响应

• 最高精度μrad级别

• 支持无磁 (.NM)；高真空(.HV)和超高真空(.UHV)选件升级

Carrier.OB系列

针对显微物镜的大负载、高动态、紧凑型解决方案

物镜通孔型·扫描台
Carrier.OB

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• Z方向单一运动方向，行程覆盖50, 100 & 400 um

• 快速运动稳定，10 ms内完成

• 闭环定位精度优于 1 nm

• 支持第三方软、硬件控制，实现自动对焦

• 支持无磁 (.NM), 高真空 (.HV) 和超高真空 (.UHV) 选件升级

物镜高负载·扫描台
Carrier.OBHL

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• Z 方向运动行程 100 um

• 快速运动稳定，10 ms内完成

• 最大负载 2 kg

• 支持第三方软、硬件控制，实现自动对焦

• 支持无磁 (.NM), 高真空 (.HV) 和超高真空 (.UHV) 选件升级

iris系列

超紧凑外形，线性运动台

压电·mini线性台
X20.mini

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• 20 × 20 mm × 12 mm极紧凑外形设计

• 内置集成光学位置传感器，2 nm分辨率

• 支持无磁(.NM), 高真空(.HV)和超高真空(.UHV)选件升级

• 控制器和Lab系列线性台，旋转台和摇摆台通用