纳米自动化 / 超精密运动 / 扫描台

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压电·高速单轴扫描运动 – SD15/30.X.C

➡ 高速扫描运动，电容闭环传感，超高运动分辨率

SD15.X.C

    SD30.X.C

• X 方向扫描运动 15 um, 30 um；

• 外形尺寸 ，62 mm x 40 mm x 13.5 mm，

80 mm x 40 mm x 13.5 mm；

• 闭环定位精度优于 0.1 nm；

• 电容位置传感器；

• 高速运动响应；

• 高真空(.HV)，超高真空(.UHV)选件升级；

可选版本 ⇨

SD15.X.C

SD30.X.C

特殊版本可选 ⇨

.NM, 绝对无磁版本；
.HV, 高真空版本;
.UHV, 超高真空版本

基本信息

Motion Direction 运动方向

X 方向

Size 底面尺寸*高度

62 mm × 40 mm× 13.5 mm

80 mm × 40 mm× 13.5 mm

Main Material 主体材料

铝合金

Travel Range 运动行程

15 um （闭环）

30 um（闭环）

运动 & 定位

Motion Resolution 运动分辨率

0.1nm

0.2 nm

Repeatability 运动可重复精度

2 nm

4 nm

Linear Error 线性误差

0.03 %

Pitch 摇摆

2 urad

Yaw 俯仰

2 urad

Resonance Frequency 共振频率

3.3 kHz

2.2 kHz

Resonance Frequency 共振频率 (300g 负载)

1 kHz

0.625 kHz

Rigidity 刚性

28 N/um

18 N/um

Encoder Type 闭环传感器（闭环版本）

电容式

其他信息

Recommended Operation Temperature 推荐使用温度

-20 ~ 80 °C

Weight 重量

250 g

350 g

Cable Length 线缆长度

1 m / D-sub 3W3

适配控制器

Archimedes 系列控制器

Drawings 尺寸图