纳米自动化 / 超精密运动 / 扫描台Carrier.S系列

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通孔型·双轴XY扫描运动 Carrier.S100/200.XY.Ｃ

➡ 高负载·高速XY平面运动，大通孔设计，并联设计+电容闭环传感

• 两维度xy扫描运动 100 um * 100 um；

• 闭环分辨率优于 1 nm；

• 最大负载 5 kg；

• 针对光学显微镜-超分辨率定制化解决方案；

• 支持无磁 (.NM), 高真空 (.HV) 和高真空 (.UHV) 选件升级；

可选版本 ⇨

Carrrier.S100.XY.C

Carrrier.S200.XY.C

特殊版本可选 ⇨

.HV 高真空版本;
.UHV 超高真空版本;
.NM 完全无磁版本;

基本信息

Motion Direction 运动方向

X, Y, 方向

Size 底面尺寸*高度

150 mm × 150 mm × 30 mm

Main Material 主体材料

铝合金 / 不锈钢

Travel Range 运动行程

100 um × 100 um

200 um × 200 um

Hollow Through Hole  中空透孔

66 mm × 66 mm

运动 & 位置传感

 Linear Error 线性度误差

0.035%

Motion Resolution 运动分辨率 (闭环/开环)

1 nm / 0.2 nm

2 nm / 0.4 nm

Repeatability 运动可重复精度

10 nm

10 nm

Rigidity 刚性

2 N/ um

1 N/ um

Resonance Frequency 共振频率 (空载/2.5 kg)

420 Hz/ 130 Hz

340 Hz/ 100 Hz

Max. Load 最大负载

5 kg

Encoder Type 闭环传感器（闭环版本）

电容式

Max Operating Voltage 驱动电压

Max. 150 V

其他信息

Recommended Operation Temperature 推荐使用温度

15 ~ 40 °C

Weight 重量

1 kg

Drawings 尺寸图