纳米自动化 / 超精密运动 / 扫描台Carrier.S系列
通孔型·单轴Z向扫描运动 Carrier.S100/200.Z.C
➡ 高负载·高速Z方向运动，大通孔设计，并联设计+电容闭环传感
可选版本 ⇨
Carrier.S100.Z.C
Carrier.S200.Z.C
特殊版本可选 ⇨
.HV 高真空版本;
.UHV 超高真空版本；
.NM 完全无磁版本；
基本信息
Motion Direction 运动方向
Z 方向
Size 底面尺寸*高度
150 mm × 150 mm × 30 mm
Main Material 主体材料
铝合金 / 不锈钢
Travel Range 运动行程
100 um
200 um
Hollow Through Hole 中空透孔
66 mm × 66 mm
运动 & 位置传感
线性度误差（z方向运动）
0.035%
Pitch 俯仰
50 urad
±50 urad
Yaw 偏摆
50 urad
±50 urad
Rotation 旋转
10 urad
±10 urad
Motion Resolution 运动分辨率（闭环/开环）
1 nm / 0.3 nm
Repeatability 运动可重复精度
10 nm
Rigidity 刚性
2.5 N/ um
1.7 N/ um
Resonance Frequency 共振频率（空载/2.5 kg）
500 Hz/ 200 Hz
350 Hz/ 120 Hz
Max. Load 最大负载
5 kg
Encoder Type 闭环传感器（闭环版本）
电容式
Max Operating Voltage 驱动电压
Max. 150 V
其他信息
Recommended Operation Temperature 推荐使用温度
15 ~ 40 °C
Weight 重量
1 kg
Drawings 尺寸图
