纳米自动化 / 光学自动化 / Carrier.OB系列

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压电·物镜自动对焦扫描台 Carrier.OBxxx.C

➡ 针对显微物镜的大负载、高动态、紧凑型解决方案，用于显微成像、自动对焦等应用

• Z 方向运动范围 50-400 um；

• 最快稳定时间 (90%位置稳定) 11 ms以内；

• 闭环定位精度优于 1 nm；

• 电容闭环传感;

• 控制器兼容多场科技MC-Archimedes Series；

• ⽀持无磁 (.NM)，高真空 (.HV) 和超高真空 (.UHV) 选件升级

可选版本 ⇨

Carrier.OB050.C

Carrier.OB100.C

Carrier.OB200.C

Carrier.OB400.C

特殊版本可选 ⇨

.HV 高真空版本;
.UHV 超高真空版本；
.NM 完全无磁版本；

基本信息

Motion Direction 运动方向

Z 轴

Travel Range 运动行程

50 um

100 um

200 um

400 um

Pitch / Yaw 俯仰 / 摇摆

± 10 µrad

± 10 µrad

± 20 µrad

± 30 µrad

Linear Error 线性误差

0.03 %

Resolution (Close-loop) 分辨率闭环

sub-nm

1 nm

3 nm

5 nm

 Resolution (Open-loop) 分辨率开环

0.2 nm

0.2 nm

0.4 nm

0.8 nm

Repeatability 可重复性

10 nm

Built-in Sensor 内置传感器

电容器传感

Stability Time 稳定时间 (90%位置到达)

11 ms

15 ms

19 ms

24 ms

Rigidity 刚性

0.6 N/μm

0.5 N/μm

0.35 N/μm

0.25 N/μm

Resonance Frequency (No-load)
共振频率 (无负载)

700 Hz

600 Hz

480 Hz

380 Hz

Resonance Frequency (150 g)
共振频率 (150 g负载)

330 Hz

250 Hz

220 Hz

165 Hz

Weight 重量

270 g

350 g

Main Material 主体材料

不锈钢304，铝合金

Working Environment 工作环境

10 to 70 °C

Drawings 尺寸图