纳米自动化 / 光学自动化 / Carrier.OB系列

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压电·物镜自动对焦扫描台 Carrier.OBHL100

➡ 针对显微物镜的大负载、高动态、长行程解决方案，用于显微成像、自动对焦等应用

• Z 方向运动范围 100 um；

• 最快稳定时间（90%位置稳定）10 ms 以内；

• 闭环分辨率优于 1 nm；

• 最大负载 2 kg；

• 控制器兼容多场科技 MC-Archimedes Series；

• ⽀持无磁 (.NM), 高真空 (.HV) 和超高真空 (.UHV) 选件升级

可选版本 ⇨

Carrier.OBHL100.C

特殊版本可选 ⇨

.HV 高真空版本;
.UHV 超高真空版本；
.NM 完全无磁版本；

Motion Direction 运动方向

Z 轴

Travel Range 运动行程

100 um

Linear Error 线性误差

0.03%

Step Size 最小步进

0.5 nm

Repeatability 可重复性

3 nm

Built-in Sensor 内置传感器

电容式传感

Resolution (Close-loop) 分辨率闭环

1 nm

 Resolution (Open-loop) 分辨率开环

0.3 nm

Stability Time 稳定时间 (90%位置到达)

5 ms

Rigidity 刚性

3 N/um

Resonance Frequency (No-load) 共振频率 (无负载)

1 kHz

Resonance Frequency (150 g) 共振频率 (150 g负载)

560 Hz

Weight 重量

500 g

Main Material 主体材料

不锈钢，铝合金

Working Environment 工作环境

10 to 70 °C

Drawings 尺寸图