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纳米级自动化 / 下载中心

超精密运动

> 运动台

>> Lab 系列

LS35x.Lab

LS35z.Lab

RS35.Lab

GS35.Lab

GS35-35设计文件

GS35-55设计文件

LS65x.Lab

LS65z.Lab

RS65.Lab

GS65.Lab

GS65-77设计文件

GS65-97设计文件

>> Indus 系列

L030.Indus

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L060.Indus

L100.Indus

L150.Indus

3D设计文件

L200.Indus

3D设计文件

>> mini 系列

X20.mini

>> Carrier 系列

Carrier.L7550.XY

Carrier.L1010.XY

Carrier.R200

> 并联运动台

>> Free 系列

Free3D.ZTxTy.150

3D设计文件

Free6D.3-2.150.G2

3D设计文件

> 扫描台

>> S 系列

S300.X.C

S100.Z.C

S100.XYZ.C

SD15.x.C

SD30.x.C

SH30.xyz.C

>> Carrier.S 系列

Carrier.S100/200.XY.C

Carrier.S100/200/300.XYZ.C

Carrier.S100/200.XYRz.C

Carrier.S100/200.Z.C

Carrier.S100/200.ZTxTy.C

>> Carrier.SL 系列

Carrier.SL200.XY/XYZ.C