多场科技压电运动·室温 / Carrier·7550xy

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压电载物台·闭环 Carrier.xxxx.2D

针对载物台“⼤⾏程·⾼精度·重负载”需求的定制化解决⽅案

• XY⽅向⼤⾏程 75 mm × 50 mm

• 最⼩步伐尺⼨约20 nm

• 最⾼速度 20 mm/s

• 闭环传感,空间分辨率 100 nm / 10 nm

• 全⾏程运动中,保证通孔 85 mm × 65 mm

• ⽀持⽆磁 ( .NM ) & 超⾼真空 ( .UHV )

• 主体铝合⾦(硬质氧化发⿊)

Carrier7550xy

备注

Active axes 运动轴

X.Y

Travel Range 行程

75mm × 50mm

Sensor Type 传感器类型

Resistive Encoder ( .R ) 电阻传感器
Optical Encoder ( .O ) 光学传感器

Sensor Resolution 传感器分辨率

( .R ) ~100 nm
( .O ) ~ 10 nm

Step Size 最小位移

Min. Below 50 nm

Maximum Step Frequency 最大驱动频率

Max. 20 kHz

Motion Repeatability 可重复性

( .R ) ~1 um
( .O ) ~ 50 nm

Velocity 速率

Max. 20 mm/s

Pitch / Yaw 俯仰/偏航

0.8 urad

Load Capacitance 最大负载

2 kg

Through Hole ( Effective ) 有效穿孔

85 mm × 65 mm

Footprint; Height 尺寸;高度

220 mm × 200 mm; 20 mm

Max Installation Space 最大安装空间

295 mm × 250 mm

Operating Temperature Range 工作温度

10 – 40 °C

Materials 材料

7075