多场科技 — 压电运动·室温 / Carrier.HS100.xyRz.C

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压电载物台·高负载通孔型-Carrier.HS100.xyRz.C

➡ 高负载·高速XY平面运动，Z轴旋转设计，保证XY面内准直运动

• 两维度 xy 扫描运动 100 um，z轴旋转运动 1 mrad；

• 闭环分辨率优于 1 nm；

• 最大负载 5 kg；

• 针对光学显微镜-超分辨率定制化解决方案；

• 支持无磁(.NM)和超高真空(.UHV)选件；

可选版本 ⇨

Carrier.HS100.xyRz.C

基本信息

Motion Direction 运动方向

X, Y, 方向 + Rz 旋转

Size 底面尺寸*高度

150 mm × 150 mm × 30 mm

Main Material 主体材料

铝合金 / 不锈钢

Travel Range 运动行程

100 um × 100 um Rz：1 mrad

Upgrade Options 升级选项

扩展可选：NM， 绝对无磁版本；UHV，超高真空版本；

运动 & 定位

线性度误差（z方向运动）

0.035%

Motion Resolution 运动分辨率

1 nm / 0.2 nm

Repeatability 运动可重复精度

± 10 nm

Rigidity 刚性

2 N/ um

Resonance Frequency 共振频率（空载/2.5 kg）

420 Hz/ 130 Hz

Max. Load 最大负载

5 kg

Encoder Type 闭环传感器（闭环版本）

电容式

Max Operating Voltage 驱动电压

Max. 150 V

其他信息

Recommended Operation Temperature 推荐使用温度

15 ~ 40 °C

Weight 重量

1 kg

Install 安装

螺纹孔自动兼容 Carrier.L7550.XY

Drawings 尺寸图