.indus 系列—极简工业风的运动模块
多自由度·纳米级运动也可以搭积木
可选版本 ⇨
L030.indus
L060.indus
L100.indus
L180.indus
.NM， 绝对无磁版本；
.HV，高真空版本;
.UHV，超高真空版本；
Size 产品尺寸
63 mm x 24 mm x 14 mm
105 mm x 24 mm x 16 mm
180 mm x 24 mm x 17 mm
300 mm x 36 mm x 18 mm
Main Material 主体材料
不锈钢/铝合金
Cables & Connectors 线缆 & 接头
标准屏蔽线缆 D-Sub 15
运动参数-空间推荐安装形式 I.（下列性质均在推荐安装形式下测得）
Travel Range 运动行程
30 mm
60 mm
100 mm
180 mm
Max. Speed 最大速度
~ 20 mm/s
Step Size 最小步伐
~ 10 nm
Step Frequency 驱动频率
Max. 20 kHz （超安静运动）
Dynamic Force 最大水平推力
3 N
Holding Force 保持力
5 N
Pitch / Yaw Over Travel Range
全行程俯仰/偏摆
0.3 mrad
运动参数-空间推荐安装形式 II.（下列性质均在推荐安装形式下测得）
Max. Load 最大垂直负载
2 kg
Holding Force 保持力
5 N
传感精度
Encoder Type 位置传感类型
– 光栅尺传感
Encoder Range 位置传感行程
30 mm
60 mm
100 mm
180 mm
Encoder Resolution 位置传感分辨率
光栅尺传感：2 nm（其他分辨率规格详见Datasheet）