多场科技 — 压电运动·室温 / Carrier·Lxxxx.xy

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压电载物台·闭环 Carrier.Lxxxx.XY

➡ 针对载物台“⼤⾏程·⾼精度·重负载”需求的定制化解决⽅案

• XY方向大行程 100 mm × 100 mm

• 最⼩步伐约 5 nm

• 最⾼速度 20 mm/s

• 位置传感器分辨率：1nm
（其他分辨率规格详见Datasheet）

• 全⾏程运动中，保证通孔 85 mm × 65 mm

• ⽀持⽆磁 ( .NM ) & ⾼真空 ( .HV ) & 超⾼真空 ( .UHV )

• 主体铝合⾦（硬质氧化发⿊）

Carrier.L7550.XY

Carrier.1010.XY

基本信息

Active axes 运动轴

X.Y

Size 底面尺寸*高度

250 mm × 200 mm × 30 mm

250 mm × 200 mm × 40 mm

Max Installation Space 最大安装空间

325 mm × 250 mm

350 mm × 350 mm

Through Hole ( Effective ) 有效穿孔

85 mm × 65 mm

120 mm × 120 mm

Upgrade options 升级选项

扩展可选：NM，无磁版本；HV，高真空版本；UHV，超高真空版本；

Materials 材料

铝合金/不锈钢

Cable Length 线缆长度

HV，标准屏蔽线缆 D-Sub-15；UHV，Kapton漆包线 PEEK-2mm插针

Operating Temperature Range 工作温度

10 – 40 °C

Weight 重量

2333 g

运动参数-空间推荐安装形式 I.（下列性质均在推荐安装形式下测得）

Travel Range 行程

75 mm × 50 mm

100 mm × 100 mm

Max. Speed 最大速度

~ 15 mm/s

~ 10 mm/s

Step Size 最小位移

～ 5 nm

Maximum Step Frequency 最大驱动频率

Max. 20 kHz （超安静运动）

Load Capacitance 最大负载

2 kg

4 kg

全行程俯仰/偏摆

0.8 mrad（0.46°）

传感精度

Sensor Type 传感器类型

– 光栅尺传感

Sensor Range 位置传感量程

75 mm × 50 mm

100 mm × 100 mm

Sensor Resolution 位置传感分辨率

光学传感器：2 nm（其他分辨率规格详见Datasheet）

Drawings 尺寸图