多场科技 — 压电运动·室温 / S ，SD & SH系列

紧凑型·扫描台 (闭环)
S 系列
均衡的选择, Standard 系列

支持电容(.C)位置传感；最高分辨率达到0.2 nm；
支持超高真空(.UHV)选件升级

X 方向运动

Z 方向运动

S300.x.C

X 方向水平运动，
300 um长行程运动

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外形尺⼨· 55 mm × 55 mm × 18 mm

行程· 300 um

S100.z.C

Z 方向垂直运动，
超薄高准直设计

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外形尺⼨· 55 mm × 55 mm × 18 mm

行程· 100 um

X Y 方向运动        X Y Z 方向运动

S100.xy.C

S100.xyz.C

兼多维度运动，0.3 nm 空间分辨

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外形尺⼨· 55 mm × 55 mm × 20 mm

行程· 100 um

紧凑型·扫描台 (闭环)
SD 系列
高速响应, Dynamic 系列

超快响应更强刚性设计；超稳定设计0.1 nm空间分辨；
支持超高真空(.UHV)选件升级

X 方向运动

X 方向运动

SD15.x.C

3.30 kHz 共振频率，
极好刚性设计;

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外形尺⼨· 62 mm × 40 mm × 13.5 mm

行程· 15 um

SD30.x.C

2.2 kHz 共振频率，
更长行程;

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外形尺⼨· 65 mm × 65 mm × 18 mm

行程· 30 um

紧凑型·扫描台 (闭环)
SH 系列
高负载版本, High-Load 系列

支持电容(.C) 位置传感，最高分辨率达到0.1 nm；支持极大负载；
支持超高真空(.UHV)选件升级

   X Y Z 方向运动

SH30.xyz.C

10 kg 超强负载，3维度自由运动

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外形尺⼨· 160 mm × 160 mm × 35 mm

行程· 30 um x 30 um x 15 um