• 光栅尺闭环控制，5 nm 最小步伐 (1 nm 可选)
• 完全无磁，超高真空等特殊版本可选
• 优于 100 nm 重复定位精度
• 支持模拟信号运动控制，Trigger in & Trigger out
• 支持多种通讯接口

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• 光栅尺闭环控制，5 nm 最小步伐 (1 nm 可选)
• 优于 150 nm 重复定位精度
• 1000 g 级别重量负载
• 完全无磁，超高真空等特殊版本可选

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• 光栅尺闭环控制，360 ° 连续旋转
• 配备通光孔径
• 1 μrad 级别最小步伐
• 完全无磁，超高真空等特殊版本可选

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• 1000 g 级别大负载
• 光栅尺闭环控制，1 μrad 级别最小步伐
• 完全无磁，超高真空等特殊版本可选

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