超精密运动 / 运动单位·长行程 – mini 系列

技术参数

选择更适合的那款

X20.mini

线性运动

X11.mini

线性运动

➨    版本定位

标准版本

大气环境

.HV, 高真空版本

优于 2E-7 mbar

.UHV, 超高真空版本

优于 2E-11 mbar

.NM, 完全无磁版本

完全无磁

.HV.NM, 高真空&完全无磁版本

完全无磁 & 高真空

.UHV.NM, 超高真空&完全无磁版本

完全无磁 & 超高真空

.E, 经济版本

大气环境

➨    基础信息

1外形尺寸

零点位置

满行程运动

23.2 mm × 20 mm × 12 mm

33.2 mm × 20 mm × 12 mm

11 mm × 11 mm × 6.5 mm

17 mm × 11 mm × 6.5 mm

2主体材料

标准版本

.HV 版本

.UHV 版本

.NM 版本

钢; 30 g

钢; 30 g

钢; 30 g

纯 Ti, 陶瓷; 90 g

钢; 10 g

钢; 10 g

钢; 10 g

纯 Ti, 陶瓷; 120 g

3运动行程

10 mm

6 mm

➨    技术参数

4速度范围

默认

.HV & .UHV 版本

10 mm/s

1 mm/s

10 mm/s

1 mm/s

5运动方向最大推力

1.5 N

0.3 N

6保持力

3 N

0.5 N

7最大负载

水平方向使用

竖直方向使用

300 g

100 g

50 g

N/A

8最小步伐 (闭环)

5 nm

N/A

9位置传感器

分辨率

种类

2 nm

N/A

光学位置传感器

N/A

➨    安装 & 使用

10可用孔位

X20.mini

台面·定位销

4 pcs – Φ 1.5
7.5 mm – 2 mm

底座·定位销

4 pcs – Φ 1.5
16.4 mm × 10 mm

X11.mini

台面·定位销

4 pcs – Φ 1.5
7.5 mm – 2 mm

底座·定位销

4 pcs – Φ 1.5
16.4 mm × 10 mm

X20.mini

台面·用户螺纹孔

4 pcs – M2 × 3.5
15 mm – 2 mm

底座·安装孔

4 pcs – M1.6 × 3
15 mm × 15 mm

X11.mini

台面·用户螺纹孔

4 pcs – M2 × 3.5
15 mm – 2 mm

底座·安装孔

4 pcs – M1.6 × 3
15 mm × 15 mm

X20.mini

X20.mini

11线缆 & 接头

默认

.UHV 版本

屏蔽线缆,
D-Sub15

Kapton 漆包线,
D-Sub15 (PEEK)

12控制器规格

MC-Newton.S系列

产品资料

下载列表

产品声明

2D / 3D 文件

X20.mini

.STEP

2025 / 03 / 25

X11.mini

.STEP

2025 / 03 / 25

规格参数

Lab 系列产品手册

.pdf

下载

室温压电运动系列手册

.pdf

2025 / 03 / 09