通孔·扫描台 [闭环]

Carrier.S 系列，通孔型·标准设计

XY & XYZ & XYRz 运动，并联·水平运动构型

支持电容(.C)位置传感 ；最高分辨率达到0.2 nm；支持超高真空(.UHV)选件升级

XY , 2维度运动

  XYZ，3维度运动

  XYRz，3维度运动

Carrier.S100/200.XY.C

高负载XY方向运动，保证面内线性运动

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外形尺寸· 150 mm × 150 mm × 30 mm

行程· 100/200 um

Carrier.S100/200/300.XYZ.C

高负载XYZ方向运动，高速扫描运动

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外形尺寸· 150 mm × 150 mm × 30 mm

行程· XYZ 100/200/300 um

Carrier.S100/200.XYRz.C

高负载XY方向运动，增加Rz自动度调节

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外形尺寸· 150 mm × 150 mm × 30 mm

行程·100/200 um x 1/2 mrad

通孔·扫描台 [闭环]

Carrier.S 系列，通孔型·标准设计

Z & ZTxTy 运动，并联·垂直运动构型

支持电容(.C) 位置传感；最高分辨率达到0.2 nm；支持超高真空(.UHV)选件升级

 Z , 单维度运动

 ZTxTy , 3维度运动

Carrier.S100/200.Z.C

高负载Z向运动，高准直设计

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外形尺寸· 150 mm × 150 mm × 30 mm

行程· 100/200 um

 

Carrier.S100/200.ZTxTy.C

高负载Z向运动，增加TxTy自由度调节

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外形尺寸· 150 mm × 150 mm × 30 mm

行程· 100/200 um × 1/2 mrad × 1/2 mrad