纳米自动化 / 超精密运动 / 扫描台Carrier.S系列

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通孔型·三轴 ZTxTy 运动 Carrier.S100/200.ZTxTy.C

➡ 高负载 Z 方向扫描运动，两轴摇摆调节，保证真正准直

• 三维度Z, θxy扫描运动 ；

• 100/200 um行程，±1/2 mrad；

• 闭环分辨率优于 1 nm；

• 针对光学显微镜-超分辨率定制化解决方案；

• 最大负载 5 kg；

• 支持无磁 (.NM), 高真空(.HV) 和超高真空 (.UHV) 选件升级

可选版本 ⇨

Carrier.S100.ZTxTy.C

Carrier.S200.ZTxTy.C

特殊版本可选 ⇨

.HV 高真空版本;
.UHV 超高真空版本；
.NM 完全无磁版本；

基本信息

Motion Direction 运动方向

Z，θx & θy

Size 底面尺寸*高度

150 mm × 150 mm × 30 mm

Main Material 主体材料

铝合金 / 不锈钢

Travel Range 运动行程（Z, θx & θy ）

100 um, ±1 mrad & ±1 mrad

200 um, ±2 mrad & ±2 mrad

Hollow Through Hole 中空透孔

66 mm × 66 mm

运动 & 位置传感

Z-axis Linear Error Z线性度误差

0.035%

θ Linear Error θ线性度误差

0.15%

Z Motion Resolution Z 运动分辨率 (闭环/开环)

1 nm / 0.5 nm

1.5 nm / 0.7 nm

ΘMotion Resolution θ运动分辨率 (闭环/开环)

0.05 urad / 0.04 urad

0.1 urad / 0.06 urad

Repeatability 运动可重复精度 (Z & θ)

10 nm, ±0.05 urad

10 nm, ±0.1 urad

Rigidity 刚性

2 N/ um

1.5 N/ um

Z Resonance Frequency Z共振频率 (空载/2.5 kg)

480 Hz/ 180 Hz

350 Hz/ 125 Hz

Θ Resonance Frequency θ共振频率 (空载/2.5 kg)

500 Hz/ 190 Hz

370 Hz/ 110 Hz

Max. Load最大负载

5 kg

Encoder Type 闭环传感器

电容式

Max Operating Voltage 驱动电压

Max. 150 V

其他信息

Recommended Operation Temperature 推荐使用温度

15 ~ 40 °C

Weight 重量

1 kg

Install 安装

螺纹孔自动兼容 Carrier.L7550.XY

Drawings 尺寸图