纳米自动化 / 超精密运动 / 扫描台

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压电扫描台·闭环 Carrier.SL200.XY/XYZ.C

➡ 高速扫描运动，电容闭环传感，超高运动分辨率

• 两维度XY 扫描运动 200 um × 200 um；

• 三维度XYZ 扫描运动 200 um × 200 um × 200 um；

• 闭环定位精度优于 2 nm；

• 最大负载 500 g；

• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决方案；

• 支持无磁 (.NM), 高真空(.HV) 和超高真空 (.UHV) 选件升级

可选版本 ⇨

Carrier.SL200.XY.C

Carrier.SL200.XYZ.C

特殊版本可选 ⇨

.HV 高真空版本;
.UHV 超高真空版本；
.NM 完全无磁版本；

基本信息

Motion Direction 运动方向

X, Y 方向

X, Y, Z 方向

Size 底面尺寸*高度

190 mm × 150 mm × 19.5 mm

Main Material 主体材料

铝合金 & 不锈钢

Travel Range 运动行程

200 um × 200 um

200 um × 200 um × 200 um

Hollow Through Hole 中空透孔

77 mm × 65 mm

运动 & 定位

Motion Resolution 运动分辨率

2 nm

Repeatability 运动可重复精度

10 nm

Linear Error 线性误差

0.03 %

Max. Load 最大负载

500 g

Encoder Type 闭环传感器（闭环版本）

电容式

Max Operating Voltage 驱动电压

Max. 150 V

其他信息

Recommended Operation Temperature 推荐使用温度

15 ~ 40 °C

Weight 重量

1 kg

Install 安装

螺纹孔兼容Carrier.L7550.XY

Drawings 尺寸图