纳米自动化 / 超精密运动 / 纳米运动台Lab系列

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压电·摇摆位移台 GS65-77/97.Lab

➡ 摇摆半径 77/97 mm

• 超安静运动，20 kHz驱动频率;

• 70 × 70 mm × 20 mm极紧凑外形设计;

• 闭环控制·空间传感分辨率0.03 μrad

• GS65-77&GS65-97配合使用, 二者不动摇摆中心重合; 不需要转接板，直接螺钉固定;

• 最小步伐优于1 urad;

• 可提供多轴堆叠安装转接件;

• 控制器兼容线性台, 旋转台;

• 支持无磁(.NM), 高真空(.HV)和超高真空(.UHV)选件；

可选版本 ⇨

GS65-77.Lab

GS65-97.Lab

特殊版本可选 ⇨

.HV 高真空版本;
.UHV 超高真空版本;
.NM 完全无磁版本;

无

Size 底面尺寸*高度

70 × 70 mm × 20 mm

Main Materials 主体材料

标准版, .NM 铝合金; .HV, .UHV 纯钛

Weight 质量

650 g

Travel Range 运动行程

+/- 10 °

Driven Frequency 驱动频率

Max. 20 kHz（超安静运动）

Resolution (Open-loop) 开环分辨率

0.2 urad

Wires 线缆 & 接头

标准版/HV版本，屏蔽线缆 D-Sub15,
UHV版本, kapton漆包线，PEEK D-Sub15

运动参数-空间推荐安装形式 I.（下列性质均在推荐安装形式下测得）

Rotation Center To Top Plate 摇摆半径

77 mm

97 mm

Max. Speed 最大速度

~3 °/s

Step Size 最小步伐

1 urad

Max. Load 最大负载

2 kg

Self-locking Torque 自锁力矩

400 N*mm

Driving Torque 驱动力矩

150 N*mm

传感精度

Encoder Type 位置传感类型

光学位置传感器

Encoder Range 位置传感量程

20 °

Encoder Resolution 位置传感分辨率

0.03 urad

0.02 urad

Drawings 尺寸图