纳米自动化 / 超精密运动 / 纳米运动台Lab系列

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压电·线性位移台-升降台 LS35z.Lab

➡ 一样的运动核心，不一样的位置传感

• 超安静运动，20 kHz驱动频率;

• 35 × 35 mm × 41 mm极紧凑外形设计;

• 闭环控制·位置传感支持光学型;

• 高精度·空间传感分辨率2 nm(默认), 0.5 nm(.adv)可选；

• 最小步伐优于 10 nm;

• 可提供多轴堆叠安装转接件;

• 控制器兼容旋转台, 摇摆台;

• 支持无磁(.NM), 高真空(.HV)和超高真空(.UHV)选件;

可选版本 ⇨

LS35z.Lab

特殊版本可选 ⇨

.HV 高真空版本;
.UHV 超高真空版本;
.NM 完全无磁版本;

Size 底面尺寸*高度

35 × 35 mm × 41 mm

Main Materials 主体材料

标准版 .HV, .UHV 不锈钢；
NM, 纯钛

Weight 质量

200 g

Travel Range 运动行程

10 mm

Driven Frequency 驱动频率

Max. 20 kHz（超安静运动）

Resolution (Open-loop) 开环分辨率

0.1 nm

Wires 线缆 & 接头

标准版/HV版本，屏蔽线缆 D-Sub15,
UHV版本, kapton漆包线，PEEK D-Sub15

运动参数-空间推荐安装形式 I.（下列性质均在推荐安装形式下测得）

Max. Speed 最大速度

~ 10 mm/s

Step Size (Close-loop) 闭环最小步伐

10 nm

Max Force/Load 最大推力/负载

500 g

Pitch / Yaw Over Travel Range
全行程俯仰/偏摆

0.3 mrad

传感精度-闭环控制

Encoder Type 位置传感类型

光学位置传感器

Encoder Range 位置传感量程

20 mm

Encoder Resolution 位置传感分辨率

标准版本 – 2 nm;
.adv 版本 – 0.5 nm;

精细调控-开环

Control Resolution 调控分辨率

亚纳米

Control Range 调控行程

1 um

Drawings 尺寸图