纳米自动化 / 超精密运动 / 纳米运动台Lab系列

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压电·线性位移台-水平台 LS65x.Lab

➡ 一样的运动核心，不一样的位置传感

• 超安静运动，20 kHz驱动频率;

• 65 × 65 mm × 13 mm极紧凑外形设计;

• 闭环控制·位置传感⽀持光学型;

• 高精度·空间传感分辨率2 nm(默认), 0.5 nm(.adv), 50 nm(.E)可选;

• 最小步伐优于 10 nm;

• 可提供多轴堆叠安装转接件;

• 控制器兼容旋转台，摇摆台;

• 支持无磁(.NM), 高真空(.HV)和超高真空(.UHV)选件;

可选版本 ⇨

LS65x.Lab

LS65x.Lab.E

特殊版本可选 ⇨

.HV 高真空版本;
.UHV 超高真空版本;
.NM 完全无磁版本;

无

Size 底面尺寸*高度

65 × 65 mm × 13 mm

Main Materials 主体材料

标准版, .NM 铝合金
.HV, .UHV 纯钛

铝合金

Weight 质量

160 g

Travel Range 运动行程

30 mm

Driven Frequency 驱动频率

Max. 20 kHz（超安静运动）

Resolution (Open-loop) 开环分辨率

0.1 nm

Wires 线缆 & 接头

标准版/HV版本，屏蔽线缆 D-Sub15,
UHV版本, kapton漆包线，PEEK D-Sub15

运动参数-空间推荐安装形式 I.（下列性质均在推荐安装形式下测得）

Max. Speed 最大速度

~ 20 mm/s

Step Size (Close-loop) 闭环最小步伐

10 nm

Dynamic Force 最大水平推力

2 N

Holding Force 保持力

5 N

Pitch / Yaw Over Travel Range
全行程俯仰/偏摆

0.3 mrad

Max. Load 最大负载

2 kg

运动参数-空间推荐安装形式 II.（下列性质均在推荐安装形式下测得）

Max. Load 最大垂直负载

150 g

Holding Force 保持力

5 N

传感精度

Encoder Type 位置传感类型

光学位置传感器

Encoder Range 位置传感量程

30 mm

Encoder Resolution 位置传感分辨率

标准版本 – 2 nm;
.adv 版本 – 0.5 nm;

50 nm分辨率

Drawings 尺寸图