纳米自动化 / 超精密运动 / 纳米运动台Lab系列

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压电·旋转位移台 RS65.Lab

➡ ⼿动·光学位移台的完美替代

• 超安静运动，20 kHz驱动频率;

• 65 × 65 mm × 13 mm极紧凑外形设计;

• 闭环控制·位置传感支持光学型;

• 高精度·空间传感分辨率0.07 urad(默认),  2 urad(.E)可选;

• 最小步伐优于3 urad;

• 可提供多轴堆叠安装转接件;

• 控制器兼容线性台, 摇摆台;

• 支持无磁(.NM), 高真空(.HV)和超高真空(.UHV)选件；

可选版本 ⇨

RS65.Lab

RS65.Lab.E

特殊版本可选 ⇨

.HV 高真空版本;
.UHV 超高真空版本;
.NM 完全无磁版本;

无

Size 底面尺寸*高度

65 × 65 mm × 13 mm

Main Materials 主体材料

标准版, .NM 铝合金; .HV, .UHV 纯钛

铝合金

Weight 质量

200 g

Travel Range 运动行程

360 °

Driven Frequency 驱动频率

Max. 20 kHz（超安静运动）

Resolution (Open-loop) 开环分辨率

0.5 urad

Wires 线缆 & 接头

标准版/HV版本，屏蔽线缆 D-Sub15,
UHV版本, kapton漆包线，PEEK D-Sub15

Aperture 中通孔径

Dia-25.4 mm

运动参数-空间推荐安装形式 I.（下列性质均在推荐安装形式下测得）

Max. Speed 最大速度

~ 10 °/s

Step Size (Close-loop) 闭环最小步伐

3 urad

10 urad

Max. Load 最大负载

2 kg

Self-locking Torque 自锁力矩

100 N*mm

Driving Torque 驱动力矩

40 N*mm

Rotating Disc 旋转盘

Dia-62 mm

传感精度

Encoder Type 位置传感类型

光学位置传感器

Encoder Range 位置传感量程

360 °

Encoder Resolution 位置传感分辨率

0.07 urad

2 urad

Drawings 尺寸图