运动台 >>

Lab系列

速度，负载和外形尺寸的均衡选择

35mm 系列

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• 覆盖6自由度运动

• 内置集成光学位置传感器

• 支持无磁 (.NM)；高真空(.HV)和超高真空(.UHV)选件升级

• Lab系列控制器通用

65mm 系列

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• 覆盖6自由度运动

• 内置集成光学位置传感器

• 支持无磁 (.NM)；高真空(.HV)和超高真空(.UHV)选件升级

• Lab系列控制器通用

新品：经济版本

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• 有35 mm & 65 mm 两个外形尺寸可选择

• 覆盖水平、旋转运动

• 内置集成光学位置传感器

• Lab系列控制器通用

Indus系列

极简的设计，超宽泛的运动行程

线性台·闭环
Lxxx.Indus

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• 30, 60, 100, 150 & 200 mm 行程可选

• 内置集成光学位置传感器，2 nm分辨率

• 高负载、支持多种拼接案例

• 支持超高真空(.UHV)选件升级

• 控制器和Lab系列线性台，旋转台和摇摆台通用

mini系列

超紧凑外形，线性运动台

压电·mini线性台
X20.mini

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• 20 × 20 mm × 12 mm极紧凑外形设计

• 内置集成光学位置传感器，2 nm分辨率

• 支持无磁(.NM), 高真空(.HV)和超高真空(.UHV)选件升级

• 控制器和Lab系列线性台，旋转台和摇摆台通用

Carrier系列

针对显微领域的大尺寸运动集成方案

载物台·位移 ( 闭环 )
Carrier.Lxxx.XY

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• 行程覆盖 75 mm × 50 mm & 100 mm × 100 mm

• 内置集成光学位置传感器，2 nm分辨率

• 最大负载支持 2.5 kg

• ⽀持标准显微镜载物台安装接⼝

• ⽀持无磁 (.NM), 超高真空(.UHV)选件升级

载物台·旋转 ( 闭环 )
Carrier.R200

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• 旋转角度360度，连续旋转

• 内置集成光学位置传感器，1 μrad分辨率

• 最大负载支持 2 kg

• 支持标准显微镜载物台安装接口

• 支持 超高真空(.UHV)选件升级

并联运动台 >>

Free系列

并联结构·同时保证自由度和精度的最好选择

三轴并联
Free3D.ZTxTy.150

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• 三自由度并联结构

• 多轴姿态同时调节、结构稳定、刚性高

• 平动行程：Z ±5 mm

• 角摆行程：ΘX, ΘY, ±3 °, ±3 °

• 最小步伐：25 nm/7.5 μrad

• 可提供真空环境规格

六轴并联
Free6D.3-2.150.G2

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• 六自由度并联结构

• 多轴姿态同时调节、结构稳定、刚性高

• 平动行程：X, Y, Z ±10 mm, ±10 mm, ±5 mm

• 角摆行程：ΘX, ΘY, ΘZ ±10 °, ±10 °, ±20 °

• 最小步伐：20 nm/1 μrad

• 可提供真空环境规格

扫描台 >>

S系列

紧凑型扫描台，高动态响应

紧凑型·扫描台 (闭环)
S 系列

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• 极紧凑设计，覆盖X，Z，XY & XYZ 运动方向

• 运动行程覆盖100 um到300 um (可定制更大行程)

• 全新设计保证高工作频率，极快响应

• 支持电容(.C) 位置传感

• 最高分辨率达到0.2 nm

• 支持无磁 (.NM), 高真空 (.HV) 和超高真空 (.UHV) 选件升级

高速·扫描台 (闭环)
SD 系列

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• 极紧凑设计，覆盖X轴运动方向

• 运动行程覆盖15-30 um

• 超快响应，更强刚性设计

• 支持电容(.C) 位置传感

• 超稳定设计0.1 nm空间分辨

• 支持无磁 (.NM), 高真空 (.HV) 和超高真空 (.UHV) 选件升级

高负载·扫描台 (闭环)
SH 系列

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• 极紧凑设计，三维自由运动

• 10 kg 超强负载

• 支持电容(.C) 位置传感

• 闭环分辨率优于 0.3 nm

• 支持高真空 (.HV) 和超高真空 (.UHV) 选件升级

Carrier.S系列

通孔型标准品·全面的性能

通孔型·扫描台 (闭环)
Carrier.S 系列

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• 运动方式覆盖线性运动 & 俯仰运动

• X，Z，XY，XYZ & ZTT等运动形式全面支持

• 线性运动行程覆盖100 um 到 300 um (可定制更大行程)

• 支持电容(.C) 位置传感

• 最高分辨率达到0.2 nm

• 超快运动响应 & 长时间疲劳测试

• 支持无磁 (.NM), 高真空 (.HV) 和超高真空 (.UHV) 选件升级

Carrier.SL系列

通孔型·轻量设计

通孔型·扫描台 (闭环)
Carrier.SL 系列

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• 覆盖Z & XY & XYZ 运动

• 大行程 & 快速响应

• 支持电容(.C) 位置传感

• 闭环分辨率优于2 nm

• 超快运动响应 & 长时间疲劳测试

• 支持无磁 (.NM), 高真空 (.HV) 和超高真空 (.UHV) 选件升级

控制器 >>

压电运动·控制器

开环控制 & 闭环控制

运动台·控制器
MC-Newton

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• 适配多场科技所有长行程运动台

• 紧凑设计136 × 131 × 32 mm

• 支持开环控制 & 闭环控制

• 单通道控制器

扫描台·控制器
MC-Archimedes.N

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• 适配多场科技所有扫描台

• 紧凑设计230*120*(30*(N+1)) mm

• 支持开环控制 & 闭环控制

• N通道控制器 (N≤8)