纳米自动化 / 超精密运动 / 扫描台

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压电·三维扫描运动 SH30.XYZ.C

➡ 10 kg超高负载，3自由度 – XYZ线性移动

• 三维度扫描运动 30 um x 30 um x 15 um；

• 外形尺寸，160 mm x 160 mm x 35 mm；

• 闭环分辨率优于 0.3 nm；

• 最大负载10 kg；

• 支持高真空(.HV)和超高真空(.UHV)选件升级；

可选版本 ⇨

SH30.XYZ.C/.0

特殊版本可选 ⇨

.HV, 高真空版本;
.UHV, 超高真空版本;
.0 开环产品;
.C 电容传感

基本信息

Motion Direction 运动方向

 X, Y, Z 方向

Size 底面尺寸*高度

160 mm × 160 mm × 35 mm

Main Material 主体材料

不锈钢

Travel Range 运动行程

30 um × 30 um × 15 um

运动 & 定位

Motion Resolution 运动分辨率

0.1 nm(开环) 0.3 nm(闭环)

Deflection Angle 偏摆角度

20 urad / 20 urad / 50 urad

Resonance Frequency 共振频率 (空载)

500 Hz

Max. Load 最大负载

10 kg

Encoder Type 闭环传感器（闭环版本）

电容式

Max Operating Voltage 驱动电压

150 V

其他信息

Recommended Operation Temperature 推荐使用温度

-20 ~ 80 °C

Weight 重量

2 kg

Cable Length 线缆长度

1 m / D-sub 3W3

Drawings 尺寸图