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滑动密封—低温快速换样方案

部件组成

⼀套完整的“低温快速换样”解决方案包括以下部分:

样品杆改造 & SlideSeal组件

PN.

套筒·换⽓腔 + 闸板阀

PN.

⽓路系统

PN.

➡ 样品杆需要增加薄壁不锈钢套筒;

➡ 增加滑动密封组件,保证样品杆垂直运动时不破坏真空;

➡ 由套筒和闸板阀组成;

➡ 板阀用于隔绝真空腔体和大气;

➡ 套筒用于充当快速插拔样品杆时洗气腔体;

➡ 通过真空阀门控制抽气&充气过程;

工作原理 & 操作流程

样品杆和滑动密封组件交付前已经组装完成

1.样品杆安装

➡ 关闭闸板阀;

➡ 安装样品杆,将滑动部件和套筒安装在⼀起;

2.洗气操作

➡ 关闭所有阀门(A,B,C,D);

➡ 打开真空泵,依次打开阀门-D,阀门-B,阀门-A。抽气至小于额定值;

➡ 关闭阀门-D,打开阀门-C充入氦气至约0.5atm;

➡ 关闭阀门-C,打开阀门-D,抽气至小于额定值;

➡ 重复步骤3~4,洗气完成;

3.放入低温腔体

➡ 依次关闭阀门-D,阀门-B,阀门-A,关闭真空泵;

➡ 打开Gate Valve,将样品杆装入低温腔体;

多场科技
中国
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