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位移台·闭环·Lab系列

线性台·闭环
LSxx.Lab

• 有35 mm & 65 mm 三个外形尺寸可选择

• 内置集成光学位置传感器

• 支持无磁 (.NM);高真空(.HV)和超高真空(.UHV)选件升级

• 控制器和旋转台、摇摆台通用

旋转台·闭环
RSxx.Lab

• 有35 mm & 65 mm 两个外形尺寸可选择

• 内置集成光学位置传感器

• 支持无磁 (.NM);高真空(.HV)和超高真空(.UHV)选件升级

• 控制器和线性台、摇摆台通用

摇摆台·闭环
GSxx.Lab

• 有35 mm & 65 mm 两个外形尺寸可选择

• 内置集成光学位置传感器

• 支持无磁 (.NM);高真空(.HV)和超高真空(.UHV)选件升级

• 控制器和线性台、旋转台通用

位移台·闭环·Indus系列

线性台·闭环
Lxxx.Indus

• 30, 60, 100, 120, 150 & 180 mm 行程可选

• 内置集成光学位置传感器,2 nm分辨率

• 高负载、支持多种拼接案例

• 支持超高真空(.UHV)选件升级

• 控制器和Lab系列线性台,旋转台和摇摆台通用

扫描台·闭环

紧凑型·扫描台(闭环)
S , SD & SH系列

• 极紧凑设计,覆盖X,Z,XY & XYZ 运动方向

• 运动行程覆盖100 um到300 um(可定制更大行程)

全新设计保证高工作频率,极快响应

支持电容(.C) 位置传感

最高分辨率达到0.2 nm

支持无磁 (.NM), 超高真空(.UHV)选件升级

物镜型·扫描台(闭环)
Carrier.OB.系列

Z方向单一运动方向,行程覆盖50, 100 & 400 um

快速运动稳定,10 ms内完成

支持高负载物镜选项;提供多种物镜转接接口

• 支持第三方软、硬件控制,实现自动对焦

支持电容(.C) 位置传感

最高分辨率达到0.2 nm

• 支持无磁 (.NM), 超高真空(.UHV)选件升级

通孔型·扫描台(闭环)
Carrier.S & HS系列

运动方式覆盖线性运动 & 俯仰运动

X,Z,XY,XYZ & ZTT等运动形式全面支持

线性运动行程覆盖100 um 到 300 um (可定制更大行程)

支持电容(.C) 位置传感

最高分辨率达到0.2 nm

超快运动响应 & 长时间疲劳测试

支持无磁 (.NM), 超高真空(.UHV)选件升级

载物台·闭环·Carrier系列

载物台·位移 ( 闭环 )
Carrier.L7550.XY

• 线性行程覆盖 75 mm × 50 mm

• 内置集成光学位置传感器,2 nm分辨率

• 最大负载支持2.5 kg

• ⽀持标准显微镜载物台安装接⼝

• ⽀持无磁 (.NM), 超高真空(.UHV)选件升级

载物台·旋转 ( 闭环 )
Carrier.R200

• 旋转角度360度,连续旋转

• 内置集成光学位置传感器,1 μrad分辨率

• 最大负载支持 2.5 kg

• 支持标准显微镜载物台安装接口

• 支持 超高真空(.UHV)选件升级

六轴并联·Free6D

六轴并联
Free6D.3-2.150.G2

• 由纳米级驱动单元实现的六自由度并联结构,有效降低累积误差

• 多轴姿态同时调节、结构稳定、刚性高

• 平动行程:X, Y, Z ±9 mm, ±9 mm, ±5 mm

• 角摆行程:ΘX, ΘY, ΘZ ±10°, ±10°, ±20°

• 最小步伐:0.1 μm/5 μrad

• 可提供真空环境规格