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运动单元·长行程
高级运动方案·长行程
扫描台·短行程
压电·光机自动化
运动控制器
超精密运动 / 压电·光机自动化 / AutoScrew 系列
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AutoScrew·压电电动螺钉
光学镜架调节,高分辨率,超高真空兼容
AutoScrew-LR
领先的输出力,断电自锁 外形尺寸· 35 mm × 15 mm × 57.4 mm 行程· 10 mm
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AutoScrew-Nano
亚纳米运动控制,动态调节 最大推力· 300 N 行程· 18 μm