CN / EN
多场科技 — 压电运动·室温 / Carrier.OB.系列
EN
物镜型·扫描台 (闭环)
Carrier.OB 系列
均衡的选择, Standard 系列
支持电容(.C) 位置传感；最高分辨率达到0.2 nm；支持超高真空(.UHV)选件升级
Z 方向运动
XY 方向运动
Carrier.OBxxx.C
Z 方向行程，高速响应
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运动可重复精度 10 nm
行程· 50-400 um
Carrier.OB100.C
2 kg 超强负载，10 ms 以内稳定
运动可重复精度 3 nm
行程· 100 um
Carrier.OB200.XY.C
物镜XY运动控制
行程· 200 um * 200 um
