多场科技压电运动·室温 / Carrier.OB200.XY.C

概览      参数       下载

压电·物镜XY运动控制 Carrier.OB200.XY.C

高速扫描运动,电容闭环传感,超高运动分辨率

• 两维度 XY 扫描运动 200 μm × 200 μm;

• 闭环分辨率 2 nm;

• 最大负载 500 g;

• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决方案;

• 支持无磁(.NM), 高真空(.HV)和超高真空(.UHV)选件升级;

可选版本 ⇨

Carrier.OB200.XY.C

特殊版本可选 ⇨

.NM, 绝对无磁版本;
.HV, 高真空版本;
.UHV, 超高真空版本

基本信息

Motion Direction 运动方向

 X, Y 方向

Size 底面尺寸*高度

70 mm × 70 mm × 25 mm

Main Material 主体材料

铝合金 & 不锈钢

Travel Range 运动行程

200 um × 200 um

Hollow Through Hole 中空透孔

Dia 20 mm

运动 & 位置传感

Motion Resolution 运动分辨率

2 nm (闭环)

Repeatability 运动可重复精度

10 nm

Linear Error 线性误差

0.03 %

Resonance Frequency (No-load)
共振频率 (无负载)

350 Hz

Max. Load 最大负载

500 g

Built-in Sensor 内置传感器

电容式传感

Operating Voltage 驱动电压

Max. 150 V

其他信息

Recommended Operation Temperature 推荐使用温度

15 ~ 40 °C

Weight 重量

280 g

Drawings 尺寸图