Size 底面尺寸*高度

φ 150 mm × 110 mm

Main Material 主体材料

铝合金

Wires 线缆&接头 (3x)

标准屏蔽线缆 D-Sub 15

Kapton 漆包线，PEEK D-Sub15插针

Max. Vertical Load 最大垂直负载

3 kg

Weight 重量

1.5 kg

Wire Length 线缆长度

1 m

运动参数

Range 行程 Z

± 5 mm

Range 行程 ΘX, ΘY

± 3 °, ± 3 °

Unidirectional Repeatability
单向重复定位精度 Z

± 0.15 μm

Unidirectional Repeatability
单向重复定位精度 ΘX, ΘY

± 2.5 μrad, ± 2.5 μrad

Step Size 最小位移 Z

25 nm

Step Size 最小位移 ΘX, ΘY

7.5 μrad, 7.5 μrad

Speed 速度

1 mm/s ~ 10 mm/s

位置传感参数

Encoder Type 集成传感器

光学编码器

Encoder Resolution 位置传感分辨率

2 nm

控制器信息

Operating Voltage 工作电压

220 V

Controller Channels 控制器通道

3通道输出控制

Communication Interface 通讯接口

USB串口

Software 控制软件

提供PC端使用软件