超精密运动 / 高级运动方案·长行程 / Carrier

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压电载物台·闭环 Carrier.L1010s.XY

➡ 针对载物台“大行程·高精度·重负载”需求的定制化解决⽅案

• XY方向大行程 100 mm × 100 mm

• XY一体式组合结构

• 纳米级分辨率

• 适配商用显微系统

• 全⾏程运动中，保证通孔

• 断电位置自保持

• 可与高精度压电扫描台堆叠组合

Carrier.L1010s.XY

基本信息

Active axes 运动轴

X，Y

Size 底面尺寸*高度

185 × 185 × 28 mm

Installation Space 必要安装空间

285 × 285 × 28 mm

Through Hole ( Effective ) 有效穿孔

20 x 20 mm (全行程); 50 x 50 mm (行程<70 x 70 mm)

Upgrade Options 升级选项

扩展可选：NM，无磁版本；HV，高真空版本；UHV，超高真空版本；

Materials 材料

铝合金，不锈钢/陶瓷

Cable Length 线缆长度

标准屏蔽线缆D-Sub15 x 2; kapton 漆包线, PEEK-D-Sub15 x 2

Operating Temperature Range 工作温度

10 – 40 °C

Weight 重量

2 kg

运动参数-空间推荐安装形式 I. (下列性质均在推荐安装形式下测得)

Travel Range 行程

100 mm × 100 mm

Max. Speed 最大速度

~ 10 mm/s (真空环境使用时降低至 10 %)

Step Size 最小位移

~ 10 nm

Maximum Step Frequency 最大驱动频率

Max. 20 kHz

Load Capacitance 水平方向使用最大负载

4 kg

全行程俯仰/偏摆

0.3 mrad

传感精度

Sensor Type 传感器类型

光学位置传感器

位置传感分辨率

2 nm (默认)

控制器规格

MC-Newton.S系列

Drawings 尺寸图