• 35/65/105 mm 多尺寸可选
• 闭环控制，5 nm 最小步伐
• 水平方向最大行程 200 mm

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• 35/65/80 mm 多尺寸可选
• 闭环控制，5 nm 最小步伐
• 垂直方向最大负载 3 kg

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• 35/65 mm 尺寸可选
• 360° 连续运动，断电位置自保持
• 闭环控制，3 μrad 最小步伐

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• 35/65 mm 尺寸可选
• ±8/10° 摇摆运动行程
• 闭环控制，1 μrad 最小步伐

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