压电·镜片偏摆台 Mirrors.TxTy0303/1010

两维偏转,毫秒级运动响应,高分辨率解决方案

Mirrors.TxTy0303

Mirrors.TxTy1010

• 两自由度偏摆运动;

• 摇摆多行程可选;

• ms级响应

• 最高精度μrad级别;

• 控制器 MC – Archimedes.N3S

• 支持无磁 (.NM), 高真空 (.HV) 和超高真空 (.UHV) 选件升级;

可选版本 ⇨

Mirrors.TxTy0303

Mirrors.TxTy1010

特殊版本可选 ⇨

.NM, 绝对无磁版本;
.HV, 高真空版本;
.UHV, 超高真空版本;

基本信息

Motion Direction 运动方向

Tx, Ty 方向

Size 底面尺寸*高度

Φ25 * 46 mm

Φ25 * 96 mm

Main Material 主体材料

铝合金 & 不锈钢

Travel Range (Close-loop) 闭环运动行程

Tx: ±1.5 mrad; Ty: ±1.5 mrad

Tx: ±5 mrad; Ty: ±5 mrad

运动 & 定位

Motion Resolution (Open-loop) 开环分辨率

0.05 urad

0.02 urad

Motion Resolution (Close-loop) 闭环分辨率

0.1 urad

0.5 urad

Linear Error 线性误差

0.1 %

Rotation Center To Top Plate 摇摆半径

6.5 mm

Resonance Frequency 共振频率 (空载)

Tx, Ty ~ 2 kHz

Tx, Ty ~ 1 kHz

Encoder Type 闭环传感器(闭环版本)

SGS

Max Operating Voltage 驱动电压

Max. 150 V

其他信息

Recommended Operation Temperature 推荐使用温度

-20 ~ 80 °C

Controller 搭配控制器

Archimedes.N3S

Cable Length 线缆长度

1 m / D-sub 3W3

Drawings 尺寸图