多场科技 — 压电运动·室温 / Mirrors.Z12

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压电移相器 Mirrors.Z12

➡ 毫秒级运动响应，高分辨率相位调节解决方案

• Z扫描运动12 um闭环行程;

• ms级响应

• 闭环分辨率优于 0.2 nm；

• 支持无磁 (.NM), 高真空 (.HV) 和超高真空 (.UHV) 选件升级；

可选版本 ⇨

Mirrors.Z12

特殊版本可选 ⇨

.NM, 绝对无磁版本;
.HV, 高真空版本;
.UHV, 超高真空版本;

基本信息

Motion Direction 运动方向

Z 方向

Size 底面尺寸*高度

Φ25 * 31 mm

Main Material 主体材料

不锈钢

Travel Range (Open-loop) 开环运动行程

15 um

Travel Range (Close-loop) 闭环运动行程

12 um

运动 & 定位

Motion Resolution (Close-loop) 闭环分辨率

0.2 nm

Linear Error 线性误差

0.03 %

Rigidity 刚度

40 N/um

Resonance Frequency 共振频率 (空载)

4 kHz

Max. Load 最大负载

200 g

Encoder Type 闭环传感器（闭环版本）

SGS

Max Operating Voltage 驱动电压

Max. 150 V

其他信息

Recommended Operation Temperature 推荐使用温度

15 ~ 40 °C

Weight 重量

40 g

Cable Length 线缆长度

1 m / D-sub 3W3

Drawings 尺寸图