多场科技 — 压电运动·室温 / Mirrors.Z12TxTy0101

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压电·镜片偏摆台 Mirrors.Z12TxTy0101

➡ 3自由度调节，通孔型摇摆台，毫秒级运动响应，高分辨率解决方案

• 直径10 mm 通孔;

• 并联结构设计保证三自由度调节

• 最大行程 12 μm

• ms级响应

• 最高精度μrad级别;

• 控制器 MC – Archimedes.N3S

• 支持无磁 (.NM), 高真空 (.HV) 和超高真空 (.UHV) 选件升级;

可选版本 ⇨

Mirrors.Z12TxTy0101

特殊版本可选 ⇨

.NM, 绝对无磁版本;
.HV, 高真空版本;
.UHV, 超高真空版本;

基本信息

Motion Direction 运动方向

Z, Tx & Ty 方向

Size 底面尺寸*高度

30 mm * 30 mm * 30.5 mm

Main Material 主体材料

铝合金 & 不锈钢

Travel Range (Close-loop) 闭环运动行程

Z: 12 um; Tx: 1 mrad; Ty: 1 mrad

运动 & 定位

Motion Resolution (Open-loop) 开环分辨率

Z: 0.2 nm; Tx: 0.05 urad; Ty: 0.05 urad

Motion Resolution (Close-loop) 闭环分辨率

Z: 0.4 nm; Tx: 0.1 urad; Ty: 0.1 urad

Linear Error 线性误差

0.2 %

Rigidity 刚度

10 N/um

Resonance Frequency 共振频率 (空载)

5.5 kHz

Encoder Type 闭环传感器（闭环版本）

SGS

Max Operating Voltage 驱动电压

Max. 150 V

其他信息

Recommended Operation Temperature 推荐使用温度

-20 ~ 80 °C

Controller 搭配控制器

Archimedes.N3S

Cable Length 线缆长度

1 m / D-sub 3W3

Drawings 尺寸图