多场科技 — 压电运动·室温 / Sxxx.XYZ.C

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压电·三维扫描运动 Sxxx.XYZ.C

➡ 针对精密光学、半导体表征等“3自由度扫描运动”需求的定制化解决方案

• 三维度XYZ 扫描运动 100 um × 100 um × 100 um /
200 um × 200 um × 200 um；

• 外形尺寸， 55 mm × 55 mm × 40 mm；

• 闭环定位精度优于 1 nm；

• 支持无磁 (.NM), 高真空 (.HV) 和超高真空 (.UHV) 选件升级

可选版本 ⇨

S100.XYZ.C

S200.XYZ.C

特殊版本可选 ⇨

.NM, 绝对无磁版本；
.HV, 高真空版本;
.UHV, 超高真空版本

基本信息

Motion Direction 运动方向

X, Y,  Z 方向

Size 底面尺寸*高度

55 mm × 55 mm × 40 mm

Main Material 主体材料

铝合金 / 不锈钢

Travel Range (Open-loop) 开环运动行程

120 um × 120 um × 120 um

240 um × 240 um × 240 um

Travel Range (Close-loop) 闭环运动行程

100 um × 100 um × 100 um

200 um × 200 um × 200 um

运动 & 定位

Resolution (Open-loop) 开环运动分辨率

0.2 nm

0.4 nm

Resolution (Close-loop) 闭环运动分辨率

1 nm

1.5 nm

Linear Error 线性误差

0.03 %

Resonance Frequency 共振频率

X, Y：400 Hz, 350 Hz
Z: 300 Hz

X, Y：300 Hz, 250 Hz
Z: 200 Hz

Rigidity 刚性

0.5 N/um

0.25 N/um

Encoder Type 闭环传感器（闭环版本）

电容式

Max Operating Voltage 驱动电压

150 V

其他信息

Recommended Operation Temperature 推荐使用温度

-20 ~ 80 °C

Weight 重量

500 g

Cable Length 线缆长度

1 m / D-Sub 3W3

Drawings 尺寸图