多场科技 — 压电运动·室温 / Sxxx.Z.C

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压电·单维度扫描运动 Sxxx.Z.C

➡ 紧凑型单轴Z方向运动，电容位置闭环控制

• Z方向扫描运动 100, 300 um;

• 外形尺寸，40 mm x 40 mm x 18 mm；

• 闭环定位精度优于1 nm (开环版本可选)；

• 最大负载 500 g；

• 支持无磁 (.NM), 高真空 (.HV) 和超高真空 (.UHV) 选件升级

可选版本 ⇨

S100.Z.C

S300.Z.C

特殊版本可选 ⇨

.NM, 绝对无磁版本；
.HV, 高真空版本;
.UHV, 超高真空版本

基本信息

Motion Direction 运动方向

Z 方向

Size 底面尺寸*高度

40 × 40 mm × 18 mm

Main Material 主体材料

铝合金 & 不锈钢

Travel Range (Open-loop) 开环运动行程

120 um

350 um

Travel Range (Close-loop) 闭环运动行程

100 um

300 um

运动 & 定位

Resolution (Open-loop) 开环运动分辨率

0.2 nm

0.5 nm

Resolution (Close-loop) 闭环运动分辨率

0.5 nm

1 nm

Pitch / Yaw 摇摆 / 俯仰

± 100 µrad

± 200 µrad

Linear Error 线性误差

0.03 %

Resonance Frequency (No-load) 空载共振频率

700 Hz

320 Hz

Rigidity 刚性

0.5 N/um

0.25 N/um

Max. Load 最大负载

500 g

Encoder Type 闭环传感器（闭环版本）

电容式

Piezo Capacity (Z) 压电电容 (Z)

150 V

其他信息

Recommended Operation Temperature
推荐使用温度

-20 ~ 80 °C

Weight 重量

170 g

250 g

Cable Length 线缆长度

1 m / D-Sub 3w3

Drawings 尺寸图