激光干涉仪

光纤耦合式,皮米级高速实时激光测距仪

电容式位置传感

亚纳米级空间分辨,覆盖多量程

光栅尺

超小尺寸探头,纳米级精度分辨率

光学自动对焦

高速自动对焦,精准重复定位,反射率表面适应范围宽