CN / EN
激光干涉仪
光纤耦合式,皮米级高速实时激光测距仪
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电容式位置传感
亚纳米级空间分辨,覆盖多量程
光栅尺
超小尺寸探头,纳米级精度分辨率
光学自动对焦
高速自动对焦,精准重复定位,反射率表面适应范围宽