多场科技 — 压电运动·室温 / Sxxx.X.C

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压电·X轴扫描运动 Sxxx.X.C

➡ 标准单轴扫描运动模块，支持电容闭环控制

• X 方向运动范围 100-500 um；

• 亚纳米位置分辨率, 电容闭环控制;

• 线性误差优于0.05%;

• 最大负载 500 g；

• 支持无磁 (.NM), 高真空 (.HV) 和超高真空 (.UHV) 选件升级；

可选版本 ⇨

S100.X.C

S300.X.C

S500.X.C

特殊版本可选 ⇨

.NM, 绝对无磁版本；
.HV, 高真空版本;
.UHV, 超高真空版本

基本信息

Motion Direction 运动方向

X方向

Size 底面尺寸*高度

50 mm × 50 mm × 17 mm

Main Material 主体材料

铝合金 & 不锈钢

Travel Range (Open-loop) 开环运动行程

120 um

350 um

600 um

Travel Range (Close-loop) 闭环运动行程

100 um

300 um

500 um

运动 & 定位

Resolution (Open-loop)  开环运动分辨率

0.2 nm

0.5 nm

0.7 nm

Resolution (Close-loop)  闭环运动分辨率

0.5 nm

0.9 nm

1.5 nm

Linear Error 线性误差

0.03 %

Pitch / Yaw 摇摆 / 俯仰

± 3 µrad / ± 3 µrad

± 3 µrad / ± 3 µrad

± 6 µrad / ± 6 µrad

Resonance Frequency (No-load) 空载共振频率

700 Hz

370 Hz

200 Hz

Max. Tension (X-axis) 最大拉力 (X方向)

10 N

Max. Load 最大负载

500 g

Encoder Type 闭环传感器（闭环版本）

电容式

Max Operating Voltage 驱动电压

Max.150 V

其他信息

Recommended Operation Temperature
推荐使用温度

-20 ~ 80 °C

Weight 重量

160 g

200 g

240 g

Cable Length 线缆长度

1m / D-Sub 3W3

Drawings 尺寸图