压电·mini线性位移台 X20.mini

外形紧凑,动力性能不折扣的压电线性台

• 超安静运动,20 kHz驱动频率;

• 20 × 20 mm × 12 mm极紧凑外形设计;

• 高精度·空间传感分辨率2 nm(默认); 0.5 nm(.adv)可选

• 最小步伐约10 nm;

• 控制器兼容旋转台,摇摆台;

• 支持无磁(.NM), 高真空(.HV)和超高真空(.UHV)选件;

可选版本 ⇨

X20.mini

特殊版本可选 ⇨

.HV 高真空版本;
.UHV 超高真空版本;
.NM 完全无磁版本;

基本信息

Size 底面尺寸*高度

20 × 20 mm × 12 mm

Main Material 主体材料

标准版 .HV, .UHV 不锈钢;
NM,纯钛

Weight 质量

30 g

Travel Range 运动行程

10 mm

Driven Frequency 驱动频率

Max. 20 kHz (超安静运动)

Resolution (Open-loop) 开环分辨率

0.1 nm

Wires 线缆 & 接头

标准版/HV版本,屏蔽线缆 D-Sub15,
UHV版本, kapton漆包线,PEEK D-Sub15

运动参数-空间推荐安装形式 I.(下列性质均在推荐安装形式下测得)

Max. Speed 最大速度

~ 10 mm/s

Step Size (Close-loop) 闭环最小步伐

10 nm

Dynamic Force 最大水平推力

1.5 N

Holding Force 保持力

3 N

Pitch / Yaw Over Travel Range
全行程俯仰/偏摆

0.3 mrad

Max. Load 最大负载

300 g

运动参数-空间推荐安装形式 II.(下列性质均在推荐安装形式下测得)

Max. Load 最大垂直负载

100 g

Holding Force 保持力

1.5 N

传感精度

Encoder Type 位置传感类型

光学位置传感器

Encoder Range 位置传感量程

10 mm

Encoder Resolution 位置传感分辨率

2 nm

Drawings 尺寸图