多场科技 — 压电运动·室温 /通孔型·扫描台/ Carrier.S100/200/300.XYZ.C

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通孔型·三轴XYZ扫描运动 Carrier.S100/200/300.XYZ.Ｃ

➡ 高速扫描运动，电容闭环传感，超高运动分辨率

• 三维 XYZ 扫描运动 100-300 um；

• 闭环分辨率优于 1 nm；

• 最大负载 5/3 kg；

• 针对光学显微镜-超分辨率定制化解决方案；

• 支持无磁 (.NM), 高真空 (.HV) 和高真空 (.UHV) 选件升级；

可选版本 ⇨

Carrrier.S100.XYZ.C

Carrrier.S200.XYZ.C

Carrrier.S300.XYZ.C

特殊版本可选 ⇨

.HV 高真空版本;
.UHV 超高真空版本;
.NM 完全无磁版本;

基本信息

Motion Direction 运动方向

X, Y, Z 方向

Size 底面尺寸*高度

150 mm × 150 mm × 30 mm

Main Material 主体材料

铝合金 / 不锈钢

Travel Range 运动行程

X – 100 μm,
Y – 100 μm,
Z – 100 μm

X – 200 μm,
Y – 200 μm,
Z – 200 μm

X – 300 μm,
Y – 300 μm,
Z – 300 μm

Hollow Through Hole  中空透孔

66 mm × 66 mm

运动 & 位置传感

 Linear Error 线性度误差

XYZ, 0.03 %

Motion Resolution 运动分辨率 (闭环/开环)

1 nm / 0.3 nm

1.5 nm / 0.4 nm

2 nm / 0.5 nm

Repeatability 运动可重复精度

10 nm

10 nm

10 nm

Z-motion-XY Offset Z向运动-XY偏移

± 30 nm

± 50 nm

Resonance Frequency (No-load) 共振频率 (空载)

X, Y: 180 Hz;
Z: 390 Hz

X, Y: 155 Hz;
Z: 320 Hz

X, Y: 135 Hz;
Z: 250 Hz

Resonance Frequency (350 g) 共振频率 (350 g)

X, Y: 150 Hz;
Z: 250 Hz

X, Y: 120 Hz;
Z: 200 Hz

X, Y: 90 Hz;
Z: 140 Hz

Max. Load 最大负载

5 kg

3 kg

Encoder Type 闭环传感器（闭环版本）

电容式

Max Operating Voltage 驱动电压

Max. 150 V

其他信息

Recommended Operation Temperature 推荐使用温度

15 ~ 40 °C

Weight 重量

1 kg

Drawings 尺寸图