压电·物镜XY运动控制 Carrier.OB200.XY.C
➡ 高速扫描运动,电容闭环传感,超高运动分辨率
可选版本 ⇨
Carrier.OB200.XY.C
特殊版本可选 ⇨
.NM, 绝对无磁版本;
.HV, 高真空版本;
.UHV, 超高真空版本
基本信息
Motion Direction 运动方向
X, Y 方向
Size 底面尺寸*高度
70 mm × 70 mm × 25 mm
Main Material 主体材料
铝合金 & 不锈钢
Travel Range 运动行程
200 um × 200 um
Hollow Through Hole 中空透孔
Dia 20 mm
运动 & 位置传感
Motion Resolution 运动分辨率
2 nm (闭环)
Repeatability 运动可重复精度
10 nm
Linear Error 线性误差
0.03 %
Resonance Frequency (No-load)
共振频率 (无负载)
350 Hz
Max. Load 最大负载
500 g
Built-in Sensor 内置传感器
电容式传感
Operating Voltage 驱动电压
Max. 150 V
其他信息
Recommended Operation Temperature 推荐使用温度
15 ~ 40 °C
Weight 重量
280 g
Drawings 尺寸图